中國的半導體設備行業在世界舞臺上已經嶄露頭角，這是國家的關注支持以及中國微電子設備行業不斷進取創新的結果，北方微電子就是中國微電子設備廠商中的佼佼者。由北方微電子研制生產的ELEDE™330作為我國首臺直接面向LED大生產線的ICP刻蝕設備在不久前實現了銷售，這既是北方微電子半導體設備技術在LED領域的成功擴展，也標志著國產LED設備已得到主流生產線的認可，有力推動了高端LED設備的國產化進程。北方微電子總裁趙晉榮表示，希望此篇對話可以增強LED制造產業界對本土設備的信心，趙晉榮堅信將來中國制造的設備一定會在LED領域占據主流地位。

　　國產設備一定會在LED產業占主流

　　高工LED：在LED領域核心生產設備方面，我國一直處于相對落后的局面，與國際主流設備相比，國產設備在技術、品質方面還存在差距，同時市場占有率較低，關鍵因素在哪?

　　趙晉榮：設備是工藝技術的物化，一代工藝技術，造就一代工藝設備。國產設備與國際主流設備的確存在差距，但就當前來看，設備制造技術、質量保證、可靠性、穩定性方面與國外主流廠商差距已經不大。隨著關鍵零部件進口限制取消，國產設備的可靠性也大幅提高，此外控制技術、軟件技術更有超越的能力和趨勢。造成目前國產設備占有率低的主要原因是中國在芯片制造工藝技術上還處于跟蹤和起步階段，還達不到世界領先，所以設備選型也以國外成熟的工藝和設備為主。隨著中國LED芯片工廠工藝技術的不斷成熟，對國外工藝技術的依賴會逐步降低，國產設備一定會漸漸成為主流。

　　高工LED：我國LED領域核心生產設備的發展現狀是什么樣?

　　趙晉榮：目前中國LED產業剛剛興起，工藝技術與國際先進水平還有相當差距，技術以跟蹤為主，當然設備選擇以國際主流成熟設備制造商為主。近年來隨著中國LED產業的蓬勃發展，已經出現一大批很好的設備企業進入該領域，包括MOCVD設備國內也已有數家很有實力的設備公司、科研機構以及芯片廠進行研發，我相信一個行業、一項技術只要給予足夠的重視、廣泛的關注和支持，再通過堅持不懈的努力，就一定會有進展，成功只是時間問題。

　　本土設備的優勢在哪里

　　高工LED：本土設備還是有著不可忽視的優勢，比如近距離接觸客戶、服務周到等，既然與國外主流設備的技術差距不是很大，選擇國產設備的客戶肯定會考慮國產設備的優勢所在。

　　趙晉榮：首先，國產設備貼近客戶、服務快捷，本土設備廠商是隨叫隨到的。北方微電子將企業經營的落腳點設立為市場和客戶，讓每一名員工都本著為客戶著想的理念去處理問題，實現對客戶的“迅速、高效、有問必應”。現今，“設備賣到哪里服務中心就開到哪里，工程師就跟到哪里”已經成為北方微電子服務的特色。

　　其次，面對設備使用中的一些技術問題，國外的設備基本上是現場服務工程師在解決，而國內是產品的設計者和客戶見面，解決問題的速度非常快。而且為客戶提供量身定做培訓服務。

　　高工LED：貌似不起眼的零部件國產化問題是目前設備產業面臨的最大困惑之一，目前本土生產的先進半導體設備的核心幾乎都采用進口的零部件。如何抓好基礎的基礎，即零部件產業，是多年來本土半導體設備公司發展的瓶頸之一。在產量無法與國際先進水平相提并論的今天，國產零部件的價格實際比競爭對手還要高。但國產設備銷售的價格卻必須比進口設備低，這種狀況應該怎么改變?

　　趙晉榮：零部件的質量、交貨期、價格、服務水平的確是設備產業的基礎，也是一個國家和地區基礎工業水平和能力的標志，但近年來中國零部件能力已經有了非常大的進步。在基礎零部件領域有了一批出色的外資、合資、民營企業，他們很多已經成為國外世界級設備企業的主流零部件供應商，同時也成為中國本土設備企業的有力支持者。

　　此外，國際主流的零部件制造商也紛紛在中國設立制造工廠、技術開發中心、維修服務中心，相比幾年以前在溝通和技術支持上已經非常方便，這也給中國設備產業發展帶來很大的支持。

　　北方微電子以成為一家國際級的高端設備企業為目標，追求的零部件供應商必須是在質量、價格、服務諸多方面都具備國際水準。我們是在追求國產化率，但其宗旨是追求溝通的方便性、交貨的及時性、價格合理性和服務的長久性。國外很多設備企業的零部件已經有相當數量在中國制造，我相信幾年以后零部件將不再成為制約中國設備業發展的瓶頸，反而成為中國裝備產業的優勢。

　　高工LED：從產品開發到成熟、再到市場認可，通常需要幾年的時間，再加上市場會起起伏伏。單純依靠某個單一產品，企業的生存和發展會受到很大的制約。以北方微電子為例，國產設備業在發展中需要注意哪些問題?

　　趙晉榮：半導體工藝裝備的確是一個非常復雜的系統，涉及機械、電子、化學、高頻、軟件、真空、自動化、材料等領域，其高可靠性、安全性、穩定性、維護性等要求與航空航天相當，需要非常高的研發和制造管理水平，是門檻極高的行業。一個產品從研發到應用的確要幾年時間。一個設備公司的生存需要多領域多產品支撐，所以北方微電子通過集成電路刻蝕機成功的經驗，輻射到太陽能、LED、OLED等領域，但產品戰略只是三大類，刻蝕、CVD、PVD，因為這三種設備都是以等離子體技術、真空技術、材料科學、軟件工程為核心技術的裝備。只是應用領域不同而已。

　　高效LED工藝研究及成套設備解決方案的提供商

　　高工LED：國產半導體設備業經歷了什么樣的發展階段•在不同的大環境影響下，北方微電子如何調整發展策略?

　　趙晉榮：60-70年代，2〞3〞4〞時，中國半導體產業基本全部采購國產設備;80年代改革開放時開始引進國外設備，國產設備受到嚴重沖擊，5〞6〞8〞12〞集成電路基本為引進、引進、再引進;90年代國產半導體設備主要應用于電力電子器件(整流管和大功率電源模塊);進入2003年后，隨著太陽能電池片產業的急速擴大，國產半導體設備進入了一個大發展時代，擴散、清洗、刻蝕、PECVD等國產設備每年銷售在幾十億元以上，設備的可靠性、穩定性與國際主流水平相當，也造就中國太陽能產業進入國際一流行列的有力支撐。同時，近年來，在8〞12〞集成電路主流工廠也已開始安裝國產設備，如北方微電子的刻蝕機、七星電子的擴散爐等，技術水平基本達到國際主流水平。當然，這也與國家2003年后對集成電路設備業的大力支持是分不開的，目前國產太陽能及集成電路裝備的主流廠家七星電子、北方微電子、北京中科信、中電48所、中電45所、沈陽芯源、上海微電子等都是國家重點支持單位，這些公司近幾年在太陽能及集成電路產業也都取得了非常好的業績。

　　與太陽能產業相似，相信通過幾年的努力，LED產業一定是國產設備占主流的行業。北方微電子看到了LED產業的前景，會加大投資力度，堅持以工藝解決方案來贏得客戶的信任，以卓越的服務和技術支持、及時備品備件提供來取得市場份額。

　　高工LED：本土設備商在太陽能、LED、平板顯示等領域嶄露頭角。北方微電子公司在100納米等離子刻蝕機成功銷往中芯、華虹、宏力后，又研制出LED等離子刻蝕機，ELEDE™330作為我國首臺直接面向LED生產線的刻蝕設備，這對北方微電子在LED芯片領域將是標志性的事件。北方微電子未來在LED設備領域的規劃和定位是什么?

　　趙晉榮：北方微電子公司自2003年以來，通過以客戶需求為導向的自主創新率先實現了8英寸和12英寸高密度等離子刻蝕機在大生產線上的應用，成為進入中國8英寸、12英寸集成電路主流生產線的第一家國產設備制造商。

　　針對綠色能源產業的蓬勃發展，北方微電子在2008年初啟動了平板式PECVD設備的開發，力爭將半導體技術的先進理念導入太陽能電池制造設備領域，改變太陽能電池高端設備不能中國制造的現狀。兩年時間自主開發完成了大產能平板式PECVD設備，并成功應用于國內主流生產線。

　　鑒于LED與半導體技術的互通性，北方微電子充分發揮設備和工藝開發優勢，僅用了7個月的時間完成了ELEDETM330高密度等離子體刻蝕設備的開發。作為我國首臺直接面向LED生產線的大產能刻蝕設備，該設備充分重視系統的工藝拓展性，可滿足藍寶石襯底圖形化刻蝕、GaN基外延層刻蝕等多種應用，用集成電路工藝更為精準的設計要求來實現LED領域更高性能的刻蝕需求，更大程度的滿足LED產業對干法刻蝕工藝的需要。目前該設備已完成生產線工藝驗證，開始芯片的批量生產。

　　隨著我國LED產業的不斷升溫，北方微電子將憑借已有完善的研發、制造基礎設施和先進的管理、服務理念，以刻蝕機為突破口，通過工藝引導設備開發，廣泛與LED芯片生產廠商合作，最終成為高效LED工藝研究及成套設備解決方案的提供商。