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華南師范大學范廣涵教授:《LED外延工藝及設備新發展》

2011-06-12 作者: 來源:新世紀LED網 瀏覽量: 網友評論: 0

摘要: 2011年6月11日,“亞洲LED照明高峰論壇 -- 外延芯片技術與工藝和外延設備和材料”專題分會在廣州琶洲展館B區8號會議廳南廳舉行。來自華南師范大學范廣涵教授發表了《LED外延工藝及設備新發展》的專題演講。

  2011年6月11日,“亞洲LED照明高峰論壇 -- 外延芯片技術與工藝和外延設備和材料”專題分會在廣州琶洲展館B區8號會議廳南廳舉行。來自華南師范大學范廣涵教授發表了《LED外延工藝及設備新發展》的專題演講。

  范廣涵教授在他的演講中首先指出當前LED大規模生產所面臨的技術問題有efficiency drop,極化場作用,與襯底晶格失配,進一步提高內量子效率等。針對上述問題,范教授接著例舉了目前世界上最新的LED外延技術發展如下:

  1、LED襯底研發:GaN同質襯底;非極性面襯底:企圖在非極性Si襯底上進行發展,在Si襯底上插入Al2O3,改善晶體質量和發光;Al2O3插入層;圖形襯底:向納米量級的圖形襯底探索突破,藍寶石納米圖形襯底明顯優于傳統藍寶石襯底;大尺寸襯底···

  2、橫向過生長新發展——解決失配性問題,提高效率。在GaN層上形成SiO2和孔列陣,再加一層GaN,改善外延質量,提高光輸出功率近50%;法國非對稱橫向過生長技術,明顯提高GaN薄膜質量;瑞士嵌入SiO2光子準晶技術;利用GaN納米線進行外延,光輸出功率是傳統的3倍···

  3、量子阱新設計——納米金字塔結構上生長黃光量子阱,有效抑制壓電場;凹形量子阱,減弱靜電場,減少電子泄露,提高內量子效率,減少效率下降問題;利用納米孔GaN增強LED中量子點的生長,增加量子點的密度,致光輸出功率增加1.45倍;InAlN做電子阻擋層;量子阱勢壘摻Si提高LED內量子效率;SPS做p型接觸層···

  4、光子晶體提高光提取效率

  5、氮化鎵系LED新技術,紫外LED,雙波長LED等

  最后,范廣涵教授談到MOCVD設備的發展時指出國外在此領域處在領先地位,國內的眾多機構正在積極研發,但只有樣機試點使用,總體發展較為緩慢。

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