北方微電子LED事業部副總經理劉利堅:《大規模LED芯片量產工藝設備的發展與挑戰》
摘要: 2011年6月11日,“亞洲LED照明高峰論壇 -- 外延芯片技術與工藝和外延設備和材料”專題分會在廣州琶洲展館B區8號會議廳南廳舉行。來自北方微電子LED事業部的副總經理劉利堅發表了《大規模LED芯片量產工藝設備的發展與挑戰》的專題演講。
2011年6月11日,“亞洲LED照明高峰論壇 -- 外延芯片技術與工藝和外延設備和材料”專題分會在廣州琶洲展館B區8號會議廳南廳舉行。來自北方微電子LED事業部的副總經理劉利堅發表了《大規模LED芯片量產工藝設備的發展與挑戰》的專題演講。
首先劉經理簡單介紹了北方微電子LED設備產品的概況,其中ICP系列產品已經成為了眾多廠家的首選刻蝕設備,更加強調了ELEDETM330設備的領先優勢——大產能設計與優異的工藝性能。
接著,劉經理重點講解了北方微電子一個非常重要的增值部分——工藝控制系統APC電子軟件。當前,在LED量產過程中存在的問題之一就是最終產量出現不合格品。而諸多廠家對此的解決方法就是對各個工序和重點設備進行費時費力的逐一排查。為達到控制最終產品質量能滿足要求這一目的,北方微電子開發了APC軟件。
APC軟件主要包括三大功能模塊,并據此建立自動預警機制:
1、 數據管理。對單臺/多臺設備的生產過程進行數據實時采集、顯示、存儲、導入導出和歷史數據查詢的功能;
2、 統計控制。統計過程監控(當值與數據的共同監測,更利于發現異常、及時預警),離線質量分析,匯總統計報表(使數據可視化);
3、 故障診斷。控制模型管理(根據不同的標準值做出模型進行變量分析),在線故障分析,離線故障分析,故障信息報表。
APC軟件的其他特點還包括:可據不同支持、設備設置靈活的系統架構;可定制對外數據接口;可內嵌進生產設備,如設備ELEDETM330。
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