2011年，在國家戰略性新興產業規劃和產業升級的推動下，我國LED上游外延片、芯片制造業迎來了新一輪的投資高潮。LED產業的發展為設備企業帶來更多的發展機遇，作為國產高端LED設備制造商的代表，北方微電子(NMC)憑借其過硬的技術基礎和本地化的服務優勢，在產業的快速成長中取得了驕人的成績。北方微電子(NMC)開發的ELEDE 330等離子刻蝕機作為我國首臺直接面向LED生產線的大產能ICP刻蝕設備于2010年首次進入市場，通過多家生產線驗證，其優秀工藝性能、較高生產能力和競爭力的價格，贏得了眾多客戶的認可和好評。

ELEDE™ 330 LED刻蝕機

　　今年上半年，該設備先后實現了對上海藍光、大連路美、江門真明麗、普吉光電、同方光電等多家生產線的銷售，尤其是獲得了東莞中鎵半導體、上海藍光等廠商的二次批量采購訂單。北方微電子作為國產LED設備企業的代表正在通過不懈的努力，逐步打破國外高端設備的壟斷局面，推動我國LED產業鏈的健康發展。

　　6月9日，2011年世界最大照明展暨LED展期間，記者有幸邀請到北方微電子(NMC)總裁趙晉榮先生做客新聞直播室，暢談企業及行業發展。

　　瞄準高新產業需求，才能把握產業脈搏

　　記者：我們看到NMC在集成電路、光伏、LED三者的市場都有所為，為什么選擇不同的領域全面介入?在這三個方面在技術上有什么不同?

　　趙晉榮：集成電路、光伏產業和LED是我國近年快速發展的高新技術產業，并同屬我國戰略新興產業范疇。在核心技術方面，光伏和LED與集成電路領域有一定的相似性，在生產流程和工藝設備方面也有很多互通性。北方微電子作為我國首家將高端集成電路工藝設備應用于大生產線的本土設備供應商，很早就開始關注代表綠色能源和節能環保的光伏和LED領域，將先進的集成電路設備技術應用于這兩個產業，開發了適用于大規模LED生產線使用的ICP刻蝕機和晶硅太陽能電池平板式PECVD設備，填補了這兩個領域高端設備未能國產化的空白。

　　對于集成電路產業，雖然我國近十年來取得了長足進步，但由于該產業國內外還存在著若干個技術代的差距，中國要趕超擁有頂尖產品和技術的國際企業還需要很長時間。但對于太陽能產業，我國雖起步較晚，但伴隨關鍵技術的攻克和制造能力的不斷提升，短短幾年已經躍居世界前列。與此類似，我國LED產業在技術和工藝上目前雖和國外有一些差距，但相信憑借制造業的綜合優勢，在幾年內達到世界先進水平是有可能的。

　　LED產業的創新應該是全產業鏈的創新

　　記者：目前，國內LED領域設備幾乎被國外廠商所壟斷，國內技術平臺上，刻蝕機有哪些技術瓶頸?今年NMC推出的這個LED ICP等離子刻蝕機，對于國內LED生產企業有什么意義?

　　趙晉榮：在刻蝕機技術上，北方微電子通過集成電路領域多年的技術積累和市場驗證，已經實現了技術突破，是國內第一家進入納米級設備生產制造的廠家，LED刻蝕機經過多家生產線的驗證，其技術指標和生產能力，都達到了國際先進水平。我們認為，一個產業的創新應該是全產業鏈的創新，或者是在全產業鏈的基礎上才可能相互促進不斷發展。像日本的IT大廠，自身就擁有非常強的裝備和材料研制能力，因此工藝創新非常快。在中國，設備是從國外買來的定型產品，因此工藝無法實現特制化，新的想法很難通過設備的改進而實現。中國的LED產業要實現技術的趕超，必須要在工藝和設備上走在世界的前列。北方微電子推出的ELEDETM330刻蝕機，就可以為LED芯片制造企業創造這種開發環境，不管是什么樣的圖形，憑借北方微電子刻蝕工藝技術，我們可以提供全套的解決方案，讓客戶將想法變成現實。LED產業要想領先，中國設備能力必須站在國際的同等水平上，北方微電子作為本土高端微電子裝備制造企業，有責任也有能力為我國LED產業的發展創造這個條件。

　　服務的本地化與專利“游戲規則”

　　記者：NMC的刻蝕技術，在國內是領先的，產品優勢在哪里?國際大環境下，如何解決專利和核心技術問題的?

　　趙晉榮：在技術和生產水平已經實現突破的基礎上，國產設備最明顯的優勢體現在服務上。任何一臺復雜的設備安裝之后都不可能不出問題，出了問題之后就要維修，維修服務的成本，國內和國外是不一樣的。由于時間和成本的差異，決定本土設備有競爭優勢。面對設備使用中的一些技術問題，國內是產品的設計者和客戶見面，解決問題的速度非常快，而且為客戶提供量身定做培訓和技術升級服務。

　　在專利方面，和集成電路領域相似。專利是一個戰略，也是一個游戲規則。因此專利并不是那么可怕，熟悉規則去保護自己是關鍵。北方微電子很早就對涉及領域的產品進行了全面的戰略分析，公司目前已申請的專利有500多項，其中300多項得到了授權，為我們的設備及配套的工藝技術提供了良好的技術保護和市場環境。

　　LED設備的國產化需要與芯片企業的生產合作

　　記者：在LED生產中，MOCVD備受關注，您對MOCVD的國產化怎么看?

　　趙晉榮：MOCVD外延工藝及設備是整個LED產業鏈的命脈，決定了整個產業的發展，其開發技術難度最大，需要大量的資金密集投入。作為一臺工藝設備，MOCVD與半導體工藝設備有許多相似之處，因而可以充分利用國內開發半導體設備的平臺，通過引進國際先進MOCVD專家和技術，同時利用國內研究單位在外延工藝積累的經驗，去實現MOCVD裝備國產化。在這個進程中，最大的難度是工藝上的考核，設備廠跟芯片企業如何結合起來，或者是和基礎研究機構結合起來是非常重要的。

　　MOCVD的國產化面臨較大的技術挑戰和大量的資金投入，建議MOCVD裝備國產化作為國家的一個戰略性項目開展，需要國家在政策上加大對設備生產企業的扶持力度。

　　記者：LED產業設備的國產化之路障礙在哪里?您覺得LED產業要突破國外的壟斷，真正實現裝備國產、本土化，應該怎么做?

　　趙晉榮：設備國產化和制造技術進步是一個相輔相成的過程。芯片制造廠對設備有需求，才會有很多設備廠圍繞著芯片廠的需求去做設計和開發，設備做出來之后也能促進芯片廠的發展。太陽能產業的發展就是明顯的例子，電池片廠一開始依賴進口設備，為滿足生產和技術需求國產設備逐漸進入市場，這些設備企業發展成熟后又促進了更多制造企業的建立和發展。對于LED產業，芯片制造企業的信任和設備企業的責任是推動設備國產化的關鍵，芯片廠對國產設備給予信任和扶持，為設備企業提供進入市場的機會和產品改進環境;設備企業以滿足客戶不斷提升的技術需求和降低制造成本為己任，強化產品性能和服務水平，最終形成產業鏈上下游的緊密合作和相互促進，打破國外設備和技術的壟斷，最終形成我國LED產業的競爭優勢。