璨圓光電將安裝愛思強新款19x4英寸的CRIUS? II-XL反應器
摘要: 臺灣的璨圓光電股份有限公司所添置的CRIUS? II-XL反應器會用于量產基于InGaN材料的高亮度藍光LED外延片制造。愛思強當地的技術支持團隊將會在該公司位于臺灣的技術先進的廠房進行新反應器的安裝和調試。
愛思強股份有限公司宣布,臺灣的璨圓光電股份有限公司將安裝19x4英寸規格的CRIUS® II-XL反應器。此訂單於2011年第三季度接獲,原為CRIUS® II-L型號,但在愛思強推出全新XL規格后隨即轉換為這款新機型。愛思強將在2011年第四季度交付新型的反應器。
所添置的CRIUS® II-XL反應器會用于量產基于InGaN材料的高亮度藍光LED外延片制造。愛思強當地的技術支持團隊將會在該公司位于臺灣的技術先進的廠房進行新反應器的安裝和調試。
璨圓光電董事長簡奉任博士表示:“購買這種可生產四英寸晶圓的噴淋頭系統,代表璨圓光電發展的一個里程碑。最初,我們一直考慮采用CRIUS® II-L作為我們實施下一階段擴展計劃的備選工具。在最近推出XL型號的反應器后,我們對這款19x4英寸規格反應器的性能深感滿意。鑒于我們長期良好的合作關系,璨圓光電的技術團隊對愛思強的技術和服務均十分信賴,因此我們將迅速與愛思強展開緊密合作,以確保這系統在各方面皆成功。”
愛思強的首席運營官Bernd Schulte博士補充道:“CRIUS® II-XL系統能達到世界最高的產量和生產效率,是愛思強享負盛名的CRIUS®系列產品的最新出品。CRIUS® II的任何現有制程都能順利地轉換至CRIUS® II-XL反應器。從一個晶片規格轉換至另一個規格僅需要更換底板,而無需作出進一步的硬件或程序調整。這些特性能很好地幫助晶片制造商嚴格控制InGaN LED的生產成本。”
璨圓光電創立於1999年11月,為高亮度InGaN LED外延和芯片的專業制造商。目前,該公司市場涵括臺灣、韓國、香港、美國和中國等,可提供高亮度InGaN藍光、綠光和紫外光LED等的全頻譜LED產品。
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