日前，Veeco宣布，其引進(jìn)的TurboDisc MaxBright氮化鎵（GaN）有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法（MOCVD）多反應(yīng)器系統(tǒng)，用于生產(chǎn)HB LED。

Veeco介紹，MaxBright利用Veeco的FlowFlange集群架構(gòu)自動化技術(shù)和專業(yè)知識在一個(gè)模塊化的兩個(gè)或四個(gè)反應(yīng)器通過組合多個(gè)、新、高通量金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器。

該MaxBright反應(yīng)堆，在K465i的基礎(chǔ)上經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證，既要擴(kuò)大晶圓的生產(chǎn)能力和先進(jìn)、專有的、封閉循環(huán)熱控技術(shù)，同時(shí)擴(kuò)大-均勻性、重復(fù)性和材料的質(zhì)量。

MaxBright MOCVD系統(tǒng)可提供生產(chǎn)能力達(dá)216×2，56×4，24×6或12×8晶圓。此外，無縫轉(zhuǎn)移K465i配方MaxBright能使客戶實(shí)現(xiàn)快速生產(chǎn)。

同時(shí)，Veeco相關(guān)人士指出，“MaxBright的價(jià)值主張是明確的：它是最高的生產(chǎn)力MOCVD系統(tǒng)制造高亮度LED市場上。該架構(gòu)支持單腔或多腔層的生長能力，提高LED結(jié)構(gòu)過程的靈活性高要求。”

MaxBright的緊湊型架構(gòu)還允許一個(gè)獨(dú)立的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)足跡效率增益高達(dá)2.5倍。總體而言，MaxBright提供了500％的增值比較緊湊封裝的K465i以靈活的。”

根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)和分析，結(jié)合MOCVD供應(yīng)情況，2011年中國MOCVD新增量份額有望達(dá)到全球的40%，而其它地區(qū)的增量會保持與2010年相當(dāng)?shù)乃交虺霈F(xiàn)下降。

MOCVD作為LED制造最核心環(huán)節(jié)的外延片生長關(guān)鍵設(shè)備，也是制造環(huán)節(jié)中單項(xiàng)投資最大的部分。目前可以提供工業(yè)化生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備制造商有限，集中程度較高，主要在歐美和日本。中國MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化之路一直走的并不太順利，只能夠生產(chǎn)用于科研的小型MOCVD設(shè)備，目前尚無能夠提供用于成熟工業(yè)化生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備廠家，但是近來有幾家國內(nèi)設(shè)備科研和生產(chǎn)單位給出了設(shè)備國產(chǎn)化的時(shí)間表，令人期待。

在全球LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶動下，近年來MOCVD設(shè)備一直處于供應(yīng)緊張的狀態(tài)，設(shè)備到貨期不斷被延長。中國MOCVD設(shè)備的供應(yīng)商主要集中在美國Veeco和德國AIXTRON兩家。

2010年全球MOCVD新增安裝量中，韓國增量最多，其次是臺灣地區(qū)。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)，中國大陸今年MOCVD新增量在160-180臺之間，居全球第三。另外，根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)和分析，結(jié)合MOCVD供應(yīng)情況，2011年中國MOCVD新增量份額有望達(dá)到全球的40%，而其它地區(qū)的增量會保持與2010年相當(dāng)?shù)乃交虺霈F(xiàn)下降。