Veeco推出生產HB LED的MaxBright GaN MOCVD
摘要: Veeco相關人士指出,“MaxBright的價值主張是明確的:它是最高的生產力MOCVD系統制造高亮度LED市場上。該架構支持單腔或多腔層的生長能力,提高LED結構過程的靈活性高要求。”
日前,Veeco宣布,其引進的TurboDisc MaxBright氮化鎵(GaN)有機金屬化學氣相沉積法(MOCVD)多反應器系統,用于生產HB LED。
Veeco介紹,MaxBright利用Veeco的FlowFlange集群架構自動化技術和專業知識在一個模塊化的兩個或四個反應器通過組合多個、新、高通量金屬有機化學氣相沉積反應器。
該MaxBright反應堆,在K465i的基礎上經過生產驗證,既要擴大晶圓的生產能力和先進、專有的、封閉循環熱控技術,同時擴大-均勻性、重復性和材料的質量。
MaxBright MOCVD系統可提供生產能力達216×2,56×4,24×6或12×8晶圓。此外,無縫轉移K465i配方MaxBright能使客戶實現快速生產。
同時,Veeco相關人士指出,“MaxBright的價值主張是明確的:它是最高的生產力MOCVD系統制造高亮度LED市場上。該架構支持單腔或多腔層的生長能力,提高LED結構過程的靈活性高要求。”
MaxBright的緊湊型架構還允許一個獨立的金屬有機化學氣相沉積系統足跡效率增益高達2.5倍。總體而言,MaxBright提供了500%的增值比較緊湊封裝的K465i以靈活的。”
根據SEMI統計和分析,結合MOCVD供應情況,2011年中國MOCVD新增量份額有望達到全球的40%,而其它地區的增量會保持與2010年相當的水平或出現下降。
MOCVD作為LED制造最核心環節的外延片生長關鍵設備,也是制造環節中單項投資最大的部分。目前可以提供工業化生產的MOCVD設備制造商有限,集中程度較高,主要在歐美和日本。中國MOCVD設備國產化之路一直走的并不太順利,只能夠生產用于科研的小型MOCVD設備,目前尚無能夠提供用于成熟工業化生產的MOCVD設備廠家,但是近來有幾家國內設備科研和生產單位給出了設備國產化的時間表,令人期待。
在全球LED產業的發展帶動下,近年來MOCVD設備一直處于供應緊張的狀態,設備到貨期不斷被延長。中國MOCVD設備的供應商主要集中在美國Veeco和德國AIXTRON兩家。
2010年全球MOCVD新增安裝量中,韓國增量最多,其次是臺灣地區。根據SEMI統計,中國大陸今年MOCVD新增量在160-180臺之間,居全球第三。另外,根據SEMI統計和分析,結合MOCVD供應情況,2011年中國MOCVD新增量份額有望達到全球的40%,而其它地區的增量會保持與2010年相當的水平或出現下降。
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