近日，中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱“中微”)宣布，中國福建省高級人民法院同意了中微針對維易科精密儀器國際貿易(上海)有限公司(以下簡稱“Veeco上海”)的禁令申請，該禁令禁止Veeco上海進口、制造、向任何第三方銷售或許諾銷售侵犯中微第CN 202492576號專利的任何化學氣相沉積裝置和用于該等裝置的基片托盤。該禁令涵蓋TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4機型的MOCVD設備，以及在該等MOCVD設備中使用的基片托盤。中微認為Veeco EPIK 868機型MOCVD設備的旋轉軸和基片托盤鎖定同步裝置也使用了中微涉案專利技術，因此該裁定也涵蓋了Veeco的EPIK 868機型及在該設備中使用的基片托盤。

　　該禁令立即生效執行，不可上訴。這一嚴格的禁令充分表明，Veeco上海公然侵犯了中微的知識產權， Veeco上海不尊重中微的知識產權。

　　今年7月，中微向福建高院正式起訴 “Veeco上海”，指控其TurboDisk EPIK 700型號的MOCVD設備侵犯了中微的基片托盤同步鎖定的中國專利，要求其停止侵權并主張上億元侵權損害賠償。

　　在中微起訴后，Veeco上海對該涉案的中微專利向專利復審委提起無效宣告請求;與此同時，還有一位自然人也對該涉案專利提起無效宣告請求。針對涉案專利的兩個無效宣告請求，專利復審委先后分別開庭審理，雙方代理人進行充分答辯，專利復審委于今日對兩個無效宣告案分別作出了審查決定，均確定認中微專利為有效專利。

　　中微為這項關鍵技術投入了大量的研發費用和知識產權保護。中微率先開發了這項技術、布局了一系列相關專利申請保護其創新性并在MOCVD設備上應用了這項技術，中微MOCVD設備已在國內眾多LED生產線上投入量產。Veeco美國公司之后跟隨中微的步伐在其MOCVD設備中采用相同的鎖定同步技術以提高設備性能。Veeco美國公司針對中微該已獲專利授權的鎖定同步技術也提交了相近的專利申請，并使用于其產品上，由此侵犯了中微的專利權。

　　不過值得注意的是，Veeco 也沒有坐以待斃，就在11月2日，Veeco 美國宣布，美國紐約東區地方法院同意了Veeco公司針對SGL Carbon，LLC(SGL)的一項初步禁令請求，該公司是中微半導體設備有限公司(AMEC)的晶圓承載器供應商。據統計，目前國內前三大 LED 芯片廠商今年采購的機臺里，Veeco 和中微半導體各占一半。業內人士評論稱，此次禁令可能會讓中微損失不少。

　　美國當地時間2017年12月8日，中微向美國專利商標局(USPTO)專利審判和上訴委員會(PTAB)遞交無效Veeco美國專利(US 6，726，769)的請求。該項關于可分離基片托盤技術的專利申請于2001年，此前被Veeco 美國公司用于在美國起訴中微的基片托盤供應商專利侵權。中微深信，Veeco美國的涉案專利的技術早在60年代起就被大量前置專利明確地公開，因此該專利不符合專利法要求，應屬無效。中微除了在美國對該涉案專利提起專利無效請求，還對其中國同族專利和韓國同族專利均提交了專利無效請求。

　　針對Veeco美國起訴中微供應商的的另一個涉案美國專利(US 6，506，252)，中微正在準備無效宣告材料，將很快向美國專利審判和上訴委員會提起專利無效請求。

　　福建高院判決VeecoEPIK700機型在國內禁售，這是國產半導體設備的勝利。正如我們之前評論，中微等國產半導體設備企業崛起的趨勢不可避免，Veeco等海外企業僅靠專利戰無法擊敗中微。中微以彼之道還施彼身，顯示國內半導體設備的創新與技術能力已經不可同日而語。不過需要注意的是，中微一系列動作的訴求也是在與Veeco的談判中多掌握籌碼，對于你來我往的專利戰，最后的結果還是和解。目前來看，和解的時間點正在接近。

　　在上游設備商糾紛愈演愈烈的情況下，LED芯片行業產能面臨考驗。對于LED芯片行業而言，中微與Veeco的糾紛使得各家廠商在新購機臺的決策上陷入進退兩難的境地，擴產計劃可能陷入停頓，如果短期無法和解，行業2018年的大部分擴產計劃無法如期進行;同時目前的判決對中微和Veeco各自相關機型存量產能皆有影響，行業產能大概率陷入供給不足的狀態!

　　就LED芯片相關公司而言，澳洋順昌受到糾紛事件影響最小。對于澳洋順昌，公司目前存量機型以Axitron為主，占比為行業最高，在產有效產能最大，對機臺的操控水平也最高。對于新增產能，在糾紛解決無明確時間表的情況下，公司可選擇Axitron與中晟(兩者技術路線與Veeco均有較大不同)，騰挪余地更大;而其他廠商因為前幾年已經轉向Veeco，Axitron與中晟機臺對其均具有一定操作門檻，即使是唯二選擇也都不是好的選擇。總而言之，澳洋有效產能及擴產計劃受影響最小。