專為半導體和相關產業提供制程控制與成品率管理解決方案的全球領先供應商KLA-Tencor公司推出了其最新LED晶圓檢測機臺WI 2280。WI 2280的推出使得LED制造商能夠在當前的基礎上，繼續降低檢測成本，同時檢測的靈活性與效率也得到了進一步的提升。

　　據悉，此次KLA-Tencor公司推出的新檢測機臺是作為下一代LED印刷(LED patterned)晶片檢查儀器，該機臺完全適用于LED晶圓的缺陷檢測與LED應用程序進行2D度量(2D metrology)。在另一方面，WI 2280相對于上一代機臺而言，其檢測能力也相應提高，適用于現如今半導體行業內2英寸至8英寸的晶片檢測。

　　同時，WI 2280還會對晶圓缺陷進行自動分類，并為操作人員提供最佳的解決途徑。這就讓LED制造商能在最短的時間內，最大化得提升自身產品的良率及生產效率，并且WI 2280不間斷地對工藝過程進行監控以確保安全運營。

　　KLA-Tencor增長和新興市場部門(GEM)集團副總裁Jeff Donnelly對此表示，當前的LED企業越來越需要檢測技術的提高來幫助他們實現產能的提升，同時檢測的準確度也是十分重要的，這對于提高產品的良率至關重要。

　　Donnelly進一步指出，ICOS WI 2280的發布對迎合了LED市場的現實需求，最終會幫助LED廠商提高每瓦的流明輸出和產品性能上的飛躍。我們也將繼續努力，不斷提升我們的ICOS產品線的水平，以滿足LED市場的未來需求。

　　據介紹，WI 2280搭載了靈活先進的光學模式與專業的圖像處理系統，其晶圓缺陷的高捕捉率并針對不同的工藝背景有自己的對應模式。另外一個值得注意的是，新機臺能對不同的缺陷作出判斷分析，并為工程師提供最佳解決方案。

　　另外，WI 2280還具有從前端工藝制造到后端檢測上的連續性，并且提供一個單一的缺陷分析平臺。KLA-Tencor公司相關人員介紹，WI 2280在在線與離線狀態下都能簡單得對重新分類進行操作。

　　除了LED應用領域之外，半導體電子元器件廠商和功率設備市場也能利用ICOS WI 2280作質量檢測，對前端印刷圖案晶片作檢查改進或進行工藝控制。最后，ICOS WI 2280能與KLA-Tencor的Candela LED無印刷晶圓檢測系統聯合配套使用。