項目名稱： 達波機電真空等離子清洗機PT-15S

申報單位： 深圳三和波達機電科技有限公司

綜合介紹或申報理由：

離子清洗機廠家-深圳三和波達機電科技有限公司 達波機電真空等離子清洗機PT-15S

主要技術(shù)參數(shù)：

型號：PT-15S

電源： AC220V

工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)

射頻電源功率： 0-600W

射頻頻率： 40KHZ或13.56MHz選裝 （偏移量小于0.2KHz）

頻率偏移量： 小于0.2KHz

*特性阻抗： 50歐姆，自動匹配

真空度： 30Pa—100Pa

氣體流量： 10—100ml/min(可調(diào))

過程控制： MCU自動與手動方式

清洗時間： 1-99999秒鐘可調(diào)

功率大小 10%-100%可調(diào)內(nèi)腔尺寸 200mm×150mm×400mm

外形尺寸： PT-15S型_650*520*500

重量： 45Kg

真空泵： 2XZ-6

真空室溫度： 小于65°C

冷卻方式： 強制風(fēng)

技術(shù)及工藝創(chuàng)新要點：

1.金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會產(chǎn)生以下效果：
1.1灰化表面有機層
－表面會受到化學(xué)轟擊（圖一）
－在真空和瞬時高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā)
－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出
－紫外輻射破壞污染物
因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。 1.2氧化物去除
金屬氧化物會與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（圖二）
這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。
1.3焊接
通常，印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。
1.4鍵合
好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進行等離子清潔。

2、等離子刻蝕
在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相（例如在使用氟氣對硅刻蝕時，下圖）。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）。 （圖三）
等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，同時得到分布分析情況。刻蝕方法在塑料印刷和粘合時作為預(yù)處理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積。

3、刻蝕和灰化
PTFE刻蝕
PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知，使用活躍的堿性金屬可以增強粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護環(huán)境，還能達到更好效果。（圖四）

實際運用案例和用戶評價意見：

電子行業(yè)
Led支架、晶圓、IC等的清潔和焊接性增強處理；電子元器件的綁定性增強，PCB和陶瓷基板的激活處理等。

一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率；

二、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；

三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；

四、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；

五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點；

六、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；

七、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生；

八、等離子體清洗可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進行部分清洗；

九、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的

申報單位介紹：

深圳三和波達機電科技有限公司是一家研制、開發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)于一體的高新技術(shù)企業(yè)，大型工業(yè)自動化的大型中外合作企業(yè).自成立以來，三和波達公司本著“以人為本，同謀發(fā)展”的用人理念，吸引了大批年輕、專業(yè)、奮發(fā)的行業(yè)精英加盟，形成激情、成熟、活力、創(chuàng)新的企業(yè)團隊！憑借雄厚的技術(shù)實力和人力資源，使公司在行業(yè)中已擁有了很高的知名度。我們將一如既往，以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、合理的價格、準時的交貨、及時周到的售后服務(wù)，熱情誠實地位新老客戶服務(wù)。

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