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資料

藍寶石上AlN基板的MOCVD外延生長

上傳人:李艷炯,方亮等

上傳時間: 2011-09-02

瀏覽次數: 244

作者李艷炯,方亮,趙紅,趙文伯,周勇,楊曉波,周勛
單位 重慶大學物理學院;重慶光電技術研究所
分類號TN304.054
發表刊物半導體光電
發布時間2010年06期

引言

  深紫外Al GaN基光電器件在污水凈化、殺菌、醫學、生化、白光照明、軍事等諸多領域有著廣泛的應用[1-2]。目前,由于缺乏與高Al組分Al GaN基材料晶格相匹配的襯底,所以難以生長出高質量高Al組分Al GaN器件結構外延層[3-4]。理論上,最適合于高Al組分Al GaN基材料生長的是……

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