本土LED生產(chǎn)設(shè)備MOCVD即將亮相中國(guó)電子展
摘要: 中國(guó)設(shè)備制造商青島華旗科技將展出一款適用于化合物半導(dǎo)體——LED/半導(dǎo)體照明等科研領(lǐng)域的外延及晶體生長(zhǎng)MOCVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)由生長(zhǎng)室、氣源、氣體控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、整機(jī)的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等組成,系統(tǒng)各工藝參數(shù)均可由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制(windows界面)。
發(fā)展國(guó)產(chǎn)LED生產(chǎn)設(shè)備,降低生產(chǎn)成本,是關(guān)乎中國(guó)綠色節(jié)能產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的重大命題。中國(guó)本土LED生產(chǎn)設(shè)備即將在第76屆中國(guó)電子展上亮相。
中國(guó)設(shè)備制造商青島華旗科技將展出一款適用于化合物半導(dǎo)體——LED/半導(dǎo)體照明等科研領(lǐng)域的外延及晶體生長(zhǎng)MOCVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)由生長(zhǎng)室、氣源、氣體控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、整機(jī)的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等組成,系統(tǒng)各工藝參數(shù)均可由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制(windows界面)。
該產(chǎn)品可滿足2”多片外延片,支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱 /感應(yīng)加熱的結(jié)構(gòu)形式,生產(chǎn)能力為2英吋1、3、6片。另外,該公司還承擔(dān)了部分國(guó)家863項(xiàng)目(如半導(dǎo)體白光照明GaN生長(zhǎng)的HVPE設(shè)備等)。
賽瑞達(dá)公司除了一系列太陽能專用設(shè)備之外,也開發(fā)了幾款LED生產(chǎn)設(shè)備,包括LED專用擴(kuò)散爐和專用合金爐。其LED專用擴(kuò)散爐和專用合金爐關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件,具有高可靠性和高抗干擾能力,具有可編程的升、降溫功能,以及有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能。
該設(shè)備可存儲(chǔ)九條工藝曲線,每條工藝曲線最多有九步,曲線間可以任意鏈接、重復(fù)。另外還具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達(dá)可為客戶提供斜滾式推拉舟系統(tǒng),石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)的靈活選擇。
上游設(shè)備的成功本土化離不開下游外延芯片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應(yīng)商、后端設(shè)備商的配合與支持。據(jù)悉,本屆秋季度中國(guó)電子展,匯集了真明麗、深圳市穩(wěn)亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛立德電子、臺(tái)灣億光電子、金臺(tái)電子等眾多大中小型LED企業(yè),以及田中精機(jī)、昆山具良、日特機(jī)械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批后端生產(chǎn)設(shè)備商,并專門開辟了LED照明展區(qū),為產(chǎn)業(yè)上下游的互動(dòng)提供了良好的互動(dòng)平臺(tái),有利于促成他們之間的合作。(編輯:ZQY)
凡注明為其它來源的信息,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)及對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)。
用戶名: 密碼: