濕法腐蝕制備藍寶石圖形襯底的研究
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上傳人：邵慧慧,李樹強,曲爽,李毓鋒,王成新,徐現剛 上傳時間： 2011-09-06 瀏覽次數： 302 |
| 作者 | 邵慧慧,李樹強,曲爽,李毓鋒,王成新,徐現剛 |
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| 單位 | 山東大學晶體材料國家重點實驗室,山東華光光電子有限公司 |
| 分類號 | TN304.052 |
| 發表刊物 | 人工晶體學報 |
| 發布時間 | 2010年06期 |
隨著第三代半導體GaN的發展,利用GaN基大功率LED作為一種新型的固體光源的應用越來越廣泛,GaN基LED具有功率高,能源消耗少,壽命長,體積小,保護環境等一系列的優點,成為人們開發研究的熱點[1]。目前應用最廣泛的外延GaN材料的襯底是成本較低的藍寶石襯底,但是由于藍寶石……
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