摘要：利用GCR170型脈沖激光器Nd：YAG 的三次諧波(355nm)，以藍(lán)寶石Al2O3(0001)為襯底，在不同溫度下采用脈沖激光沉積法制備了ZnO 薄膜.通過原子力顯微鏡、Raman譜、光致發(fā)光譜、紅外透射譜、霍爾效應(yīng)和表面粗糙度分析儀對制備的ZnO 薄膜進(jìn)行了測試.分析了在不同襯底溫度下薄膜的表面形貌、光學(xué)特性，同時進(jìn)行了薄膜結(jié)構(gòu)和厚度的測試.研究表明：襯底溫度對ZnO 薄膜的表面形貌、光學(xué)特性、結(jié)構(gòu)特性都是重要的工藝參量，尤其在500 ℃時沉積的ZnO 薄膜致密均勻，并表現(xiàn)出較強(qiáng)的紫外發(fā)射峰。

　　在大多數(shù)薄膜制備方法中，襯底溫度都是一個重要的沉積參量，對薄膜材料與襯底間的粘附性、原子表面遷移率、無定性襯底(如玻璃材料)上薄膜的結(jié)晶和取向、薄膜中缺陷和應(yīng)力都產(chǎn)生很大的影響[12].氧化鋅(ZnO)是一種直接寬帶隙半導(dǎo)體材料，在室溫下它具有寬禁帶3.37eV，有較大的激子束縛能60meV，這使得氧化鋅中的激子在較高的溫度下仍然能夠存在，從而為這種材料在室溫下產(chǎn)生高效率的激子發(fā)射提供了基本保證，使它具有很強(qiáng)的紫外及藍(lán)綠光發(fā)射，成為紫外探測、LED、LD 等領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)......

　　0、引言

　　1、實(shí)驗(yàn)

　　2、結(jié)果與分析

　　3、結(jié)論