不同襯底溫度下PLD 法制備的氧化鋅薄膜的特性
上傳人:蘇雪瓊、王麗、陳江博、孔樂、劉紅梅、張新平 上傳時(shí)間: 2013-01-23 瀏覽次數(shù): 38 |
作者 | 蘇雪瓊、王麗、陳江博、孔樂、劉紅梅、張新平 |
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單位 | 北京工業(yè)大學(xué)應(yīng)用數(shù)理學(xué)院 |
分類號(hào) | 0484 |
發(fā)表刊物 | 《光子學(xué)報(bào)》 |
發(fā)布時(shí)間 | 2010年 |
摘要:利用GCR170型脈沖激光器Nd:YAG 的三次諧波(355nm),以藍(lán)寶石Al2O3(0001)為襯底,在不同溫度下采用脈沖激光沉積法制備了ZnO 薄膜.通過(guò)原子力顯微鏡、Raman譜、光致發(fā)光譜、紅外透射譜、霍爾效應(yīng)和表面粗糙度分析儀對(duì)制備的ZnO 薄膜進(jìn)行了測(cè)試.分析了在不同襯底溫度下薄膜的表面形貌、光學(xué)特性,同時(shí)進(jìn)行了薄膜結(jié)構(gòu)和厚度的測(cè)試.研究表明:襯底溫度對(duì)ZnO 薄膜的表面形貌、光學(xué)特性、結(jié)構(gòu)特性都是重要的工藝參量,尤其在500 ℃時(shí)沉積的ZnO 薄膜致密均勻,并表現(xiàn)出較強(qiáng)的紫外發(fā)射峰。
在大多數(shù)薄膜制備方法中,襯底溫度都是一個(gè)重要的沉積參量,對(duì)薄膜材料與襯底間的粘附性、原子表面遷移率、無(wú)定性襯底(如玻璃材料)上薄膜的結(jié)晶和取向、薄膜中缺陷和應(yīng)力都產(chǎn)生很大的影響[12].氧化鋅(ZnO)是一種直接寬帶隙半導(dǎo)體材料,在室溫下它具有寬禁帶3.37eV,有較大的激子束縛能60meV,這使得氧化鋅中的激子在較高的溫度下仍然能夠存在,從而為這種材料在室溫下產(chǎn)生高效率的激子發(fā)射提供了基本保證,使它具有很強(qiáng)的紫外及藍(lán)綠光發(fā)射,成為紫外探測(cè)、LED、LD 等領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)......
0、引言
1、實(shí)驗(yàn)
2、結(jié)果與分析
3、結(jié)論
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