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不同襯底溫度下PLD 法制備的氧化鋅薄膜的特性

上傳人:蘇雪瓊、王麗、陳江博、孔樂、劉紅梅、張新平

上傳時(shí)間: 2013-01-23

瀏覽次數(shù): 38

作者 蘇雪瓊、王麗、陳江博、孔樂、劉紅梅、張新平
單位 北京工業(yè)大學(xué)應(yīng)用數(shù)理學(xué)院
分類號(hào) 0484
發(fā)表刊物 《光子學(xué)報(bào)》
發(fā)布時(shí)間 2010年

  摘要:利用GCR170型脈沖激光器Nd:YAG 的三次諧波(355nm),以藍(lán)寶石Al2O3(0001)為襯底,在不同溫度下采用脈沖激光沉積法制備了ZnO 薄膜.通過(guò)原子力顯微鏡、Raman譜、光致發(fā)光譜、紅外透射譜、霍爾效應(yīng)和表面粗糙度分析儀對(duì)制備的ZnO 薄膜進(jìn)行了測(cè)試.分析了在不同襯底溫度下薄膜的表面形貌、光學(xué)特性,同時(shí)進(jìn)行了薄膜結(jié)構(gòu)和厚度的測(cè)試.研究表明:襯底溫度對(duì)ZnO 薄膜的表面形貌、光學(xué)特性、結(jié)構(gòu)特性都是重要的工藝參量,尤其在500 ℃時(shí)沉積的ZnO 薄膜致密均勻,并表現(xiàn)出較強(qiáng)的紫外發(fā)射峰。

  在大多數(shù)薄膜制備方法中,襯底溫度都是一個(gè)重要的沉積參量,對(duì)薄膜材料與襯底間的粘附性、原子表面遷移率、無(wú)定性襯底(如玻璃材料)上薄膜的結(jié)晶和取向、薄膜中缺陷和應(yīng)力都產(chǎn)生很大的影響[12].氧化鋅(ZnO)是一種直接寬帶隙半導(dǎo)體材料,在室溫下它具有寬禁帶3.37eV,有較大的激子束縛能60meV,這使得氧化鋅中的激子在較高的溫度下仍然能夠存在,從而為這種材料在室溫下產(chǎn)生高效率的激子發(fā)射提供了基本保證,使它具有很強(qiáng)的紫外及藍(lán)綠光發(fā)射,成為紫外探測(cè)、LED、LD 等領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)......

  0、引言

  1、實(shí)驗(yàn)

  2、結(jié)果與分析

  3、結(jié)論

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