【新世紀LED網訊】愛思強股份有限公司日前宣布，由歐盟委員會提供資金的TECHNOTUBES(晶圓級碳納米管技術)項目取得圓滿成功，并演示了新型自動化生長設備BM300T。

　　這個為期三年的項目旨在開發碳納米管的生長工藝、自動化設備、質量控制/監測和多種終端應用。合作參與項目的成員包括劍橋大學(協調人)、蘇黎世聯邦理工學院、丹麥理工大學、柏林理工大學、Fritz Haber 研究所、意大利國家研究理事會、飛利浦公司、泰雷茲集團、劍橋CMOS 傳感器公司、IMEC 和愛思強。

　　來自劍橋大學的項目協調人John Robertson教授評價說：“這是一個獨一無二的項目，集合了業界和科研界的世界一流機構，從生長設備、材料制造到可用設備，打造出一條基于碳納米管的價值鏈。該項目研究成功的應用領域主要包括連接器產品、導熱材料、醫療及安保X光光源、氣體探測器、生物探針、微流體技術和新型能源存儲裝置。衷心感謝歐盟委員會為此項目提供資金支持，令我們的研究得以順利開展。”

　　愛思強納米儀器(Nanoinstruments)部門主管Ken Teo博士補充說：“我們的職責就是制造用于沉積各種碳納米管結構的設備，以滿足這些應用領域的要求。最大的挑戰就是將多種生產工藝(單壁結構、多壁結構、支線垂直納米管等)整合到同一個平臺之中，為工業生產的合作伙伴提供所需的統一、穩定、高度自動化的生產設備。我們所研發的BM 300T 系統成功滿足了上述標準，結合熱學和等離子沉積技術、前體活化技術和新型的晶圓裝載和加熱系統，令高通量的晶圓級碳納米管生產成為可能。”