德國亞琛，2011年11月8日—繼成功推出CRIUS II-L后，愛思強欣然宣布MOCVD反應器的產能再上一層樓。19x4英寸規(guī)格的新型CRIUS II-XL反應器產能超卓，產量及產能均問鼎世界之最。此外，CRIUS II-XL 具備了同級設備中最優(yōu)化的運作成本和占地效益。

CRIUS II-XL

　　CRIUS II-XL主要采用CRIUS II-L的硬件配置。“需要更換的組件只有一項，就是襯托器底板。更換該部分以后，反應器的產能將大大提高，而且基本上無需額外成本” 愛思強Close Coupled Showerhead (CCS) 近耦合技術噴淋頭反應器技術的項目經理Johannes Lindner博士表示，“這是讓CRIUS II-L盡可能順利升級成CRIUS® II-XL的其中一個關鍵設計標準。除此之外，只需作出極少的工藝調整就能升級至CRIUS II-XL。”

　　此款CRIUS反應器系列的最新機型同樣是根據市場需求(尤其是針對發(fā)光二極管制造成本)進行詳盡分析后研發(fā)而成。“市場對高成本效益的發(fā)光二極管制造需求強烈，而我們深知MOCVD對降低成本意義重大，”愛思強營銷副總裁Rainer Beccard博士表示，“眾多參數當中，反應器的產能對總體擁有成本的影響最大。因此，我們決定設計出19x4英寸規(guī)格的反應器。 這一反應器已由愛思強應用實驗室進行全面檢測，確保除了出眾的產能以外，其一致性及良率也無可挑剔。可以選擇使用2英寸到8英寸之間任何尺寸的晶圓，硬件上只需簡單的更換石墨盤，不需要其它硬件或工藝上的調整。”

　　CRIUS II-XL是愛思強CCS產品系列的最新出品，實驗證明，該產品可在長達數年的時間內提供最佳的生產穩(wěn)定性并保持良好運作。MOCVD系統的標準功能包括反應器在位的高度調整，以便在任何工藝環(huán)境下都可以選擇最優(yōu)化的反應器結構，該系統還配備獨特的ARGUS在位監(jiān)測設備。