三星開發全球首例使用單晶硅TFT的有機EL面板
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上傳人：伊藤元昭/記者 上傳時間： 2007-05-29 瀏覽次數： 30 |
三星開發的面板為240×320像素，亮度為350cd/m2，對比度為1萬比1。像素間隔為51μm×153μm，像素電路由2個TFT和1個電容器組成。TFT的載流子遷移率為p通道90cm2/Vs、n通道120cm2/Vs，與其它有機EL用TFT相比，非常高。目前，該公司還在利用此次開發的制造方法試制1.9英寸TFT液晶面板。
在此之前，單晶硅TFT的使用尚無先例，其原因是單晶硅在制造面板的玻璃底板上成膜非常困難。在此次開發中，三星使用了美國康寧(Corning)開發的向玻璃底板轉印單晶硅的技術“SiOG”。該技術首先要向單晶硅晶圓表面之下較淺的部位注入氫離子。然后把晶圓粘貼到康寧制造的“EAGLE”玻璃底板上，在從粘貼后的底板的內外兩側施加電壓的同時進行熱處理。這樣，在氫離子轉變為氫分子的同時，進行了離子注入的部分的結晶會受到損傷，取下晶圓時，單晶硅膜能夠殘留在晶圓表面。三星表示，“用粘貼方式制造的TFT粘著性良好，可靠性方面也無需擔心”。另外，此次的方法還可用于大型面板用底板，應用范圍最少可涵蓋至第4代底板。
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