摘要：隨著科學技術的進步,光學薄膜及相關技術不論從廣度還是深度來看都得到了顯著發展,并逐漸滲透到現代技術和高端技術等領域。對光學薄膜的3種制備技術:物理氣相學沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)和化學液相沉積(CLD)進行了分析。綜述了幾種新型光學薄膜(金剛石薄膜及類金剛石薄膜、軟X射線多層膜、太陽能選擇性吸收膜、高強度激光膜)的研究進展以及光學薄膜的應用情況。

　　光學薄膜技術是一門交叉性很強的學科,它涉及到光電技術、真空技術、材料科學、精密機械制造、計算機技術、自動控制技術等領域。光學薄膜是一類重要的光學元件,它廣泛地應用于現代光學、光電子學、光學工程以及其他相關的科學技術領域[1]。它不僅能改善系統性能(如減反、濾波

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　　1、光學薄膜制備技術

　　2、光學薄膜的研究新進展

　　3、光學薄膜的應用

　　4、結束語

　　4 結束語

　　近年來，作為特殊材料形態的光學與光電子薄膜已廣泛滲透到各個新興的科技領域。引人注目的光折射薄膜、光子探測薄膜、薄膜光子晶體、量子點薄膜、納米或亞波長尺度的多維結構、高電光系數的鐵電非線性薄膜、傳感功能薄膜、高密度體記錄薄膜和有機顯示薄膜等，其各種特異性能的開發與應用都與光學薄膜的特性相關。

　　目前，我國的光學與光電子產業得到迅猛發展，在設備的提升和產業隊伍的建設方面取得了不小的進步，在制備技術、膜系設計、工藝控制、特性測試和應用開發等方面都開展了卓有成效的工作，取得了廣泛的研究成果，同時形成了一定的產業規模[13]。光學薄膜技術是激光技術、紅外技術及航天等高科技所需的關鍵技術，沒有薄膜技術和光學薄膜的發展，就沒有現代技術和尖端技術的發展。