藍光LED節能效益驚人細節揭秘
摘要: 本文追溯了氮化鎵材料和藍色發光二極管的發展歷史,回顧了重要的歷史事件。III 簇氮化物是直接帶隙半導體材料,發光范圍紫外到紅外,覆蓋整個可見光區,是理想的光電器件材料。同時,具有優越的物理性質,在高溫、高能、高頻微波器件以及高壓電子電力器件都有廣泛的應用。
隨后,赤崎研制的MIS 型藍色LED開始樣品供貨。在Gan研究取得突破的前夜,1981年赤崎離開松下技研到名古屋大學擔任教授。名古屋大學素以堅持學術自由而著稱。為支持赤崎勇開展化合物半導體研究,名古屋大學專門建造了一間超凈實驗室。為回報名古屋大學,赤崎勇將研究室變成了一座“不夜城”。從此,這里成為赤崎研發Gan藍色發光器件的中心舞臺。
當時最尖端的MOCVD裝置不但價格昂貴,高達數千萬日元,而且沒有用于生長Gan的商用設備。赤崎研究室每年的研究經費約為300萬日元,捉襟見肘,他們只能自己動手,靠購買零部件,利用舊的加熱用振蕩器,企業捐贈的60cm的石英管等組裝完成了MOCVD裝置,但優質Gan薄膜的生長并不順利。1983年天野浩從名古屋大學工學部本科畢業后,幸運成為赤崎勇的碩士研究生。在兩年的時間里,除了新年這天,天野不分晝夜,每天都在做GaN生長實驗。對襯底溫度、反應室真空度、反應氣體流量、生長時間等條件反復進行調整,做了1500多次實驗,但依然沒有生長出好的Gan薄膜。
借助了MOCVD和藍寶石襯底還是沒有成功,一直困擾赤崎的難題依然沒有解決。他開始意識到: 藍寶石襯底與Gan晶體之間的晶格常數失配,相差高達16%,熱膨脹系數也相差較大,這是造成晶體質量差的原因。他想到了以前在GaAsp和GaAs襯底上異質外延GaInAsp時采用過的緩沖層方法。
“為了解決晶格常數和熱膨脹系數失配造成的困難,我覺得需要在藍寶石襯底與Gan之間插入某種柔性的極薄緩沖層,而此中間層材料的特性最好與藍寶石或Gan相似。“赤崎選中了AlN、GaN、SiC 和ZnO 四種材料,因為從1965年開始就研究Aln的晶體生長和光學特性,他對Aln最為熟悉。所以,最先開始了用Aln作為緩沖層材料的實驗。
1985年的一天,如同往常生長Gan一樣,天野把MOCVD的爐內溫度提高到1000℃ 以上的生長溫度。這時,碰巧爐子出了問題,溫度只達到700 ~800℃左右,無法生長Gan薄膜。但此時天野的腦海里冒出了“加入Al也許能提高晶體質量”的念頭。于是,天野在藍寶石襯底上試著生長Aln薄膜。在這一過程中爐子恢復了正常,天野又將爐溫提高到1000℃繼續生長Gan薄膜。后來樣品經顯微鏡觀察發現生長出了均勻的Gan薄膜。歪打正著成就了低溫生長Aln緩沖層技術,這是發明藍光LED的突破性技術之一,此成果于1986年發表在應用物理快報上,天野為第一作者,赤崎名列第三。
無巧不成書,另一項重大突破———p型Gan摻雜的實現也是偶然被天野所發現。
生長出優質Gan薄膜后,他們自然把重點放在了p型摻雜的研究上。天野選擇鋅( Zn) 和鎂( Mg)作為受主,摻雜到Gan薄膜中,但嘗試了多次始終沒有實現p型摻雜。當時正在攻讀博士的天野去NTT 進行了為期1 個月左右的實習,他用電子顯微鏡觀察摻Zn的Gan薄膜表面,意外發現在反復的量測后樣品發出了極為微弱的熒光。天野認為摻Zn的Gan薄膜的導電特性發生了變化,可是經過測量,發現并沒有形成p型。就在天野覺得Gan薄膜可能真的無法實現p摻雜而決定放棄時,他看到了一本教科書,書中說Mg 是比Zn更容易實現p型的受主。于是,天野把Gan薄膜中摻雜的受主由Zn換成Mg,再次進行電子顯微鏡觀察。果然,摻Mg 的Gan薄膜變成了p型。赤崎勇教授與天野浩如獲至寶,將其發現發表在日本應用物理期刊上,并提出了一套物理機制來解釋他們的發現,認為是低能電子束輻照( LEEBI) 的作用實現了GaN: Mg 薄膜的p型導電。現在我們知道當初師生倆所提出的物理機制是錯誤的,但此發現卻造成了科學界的轟動。Gan的p型摻雜成為發明藍光LED的另一項重大突破。正可謂: 眾里尋他千百度,驀然回首,那人卻在燈火闌珊處。
赤崎和天野的研究小組很快于1989年在全球首次研制出了p-n結藍色LED。
同時,就在Gan藍光LED探索發展的關鍵時期,中村修二以一匹黑馬的姿態躍上舞臺。他憑著“作別人不做的題目才有最大的發展機會”的想法,選擇研究氮化鎵。在上世紀80年代初很少人關注氮化鎵,作此選擇無異于一場豪賭。中村修二自1979年加入日亞化工,這是一個一切以產品銷售為導向的小公司。身為小技術員,默默無聞的中村在地下室獨自一人悄悄搗騰藍光二極管。他在研究上的突破不被重視,被稱為“吃白飯的”,“上司每次見到我都會說,你怎么還沒有辭職? 把我氣得發抖。”中村回憶道。經過數年努力,中村于1992年第一次利用了InGan/Gan周期量子阱結構,取代了傳統的p-i-n結構,大幅度地提高了藍光LED的發光效率。
他還發展了外延技術,用低溫生長的薄層Gan替換Aln作為緩沖層。同時中村等人為了解開p型Gan的謎團做了一系列的實驗,發現電子束對于p型激活的作用只可能來自于熱激活和高能電子的轟擊兩種因素。因此,他們將GaN: Mg 樣品放入700℃以上的N2和NH3氣氛下退火,實驗發現都成功實現穩定的p型GaN。證明熱處理( 退火) 能有效激活摻雜的Mg 受主。至此,p型Gan的難題得以突破。
在1993年實現了藍光LED的量產。所以,中村對發明藍光LED和使其走出實驗室,走進千家萬戶都做出重要貢獻,并且他在相當長的一段時間里引領著Gan基LED和LD的研究。
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